一、原理
擴(kuò)散泵中的油在加熱到沸騰溫度(約為200度)后產(chǎn)生大量的油蒸氣,油蒸氣經(jīng)導(dǎo)流管從各級(jí)噴嘴定向高速噴出。由于擴(kuò)散泵進(jìn)氣口附近被抽氣體的分壓強(qiáng)高于蒸氣流中該氣體的分壓強(qiáng),被抽氣體的分子便不斷擴(kuò)散到高速定向蒸氣流中,隨著蒸氣流帶走。氣體分子隨蒸氣流碰到泵壁又反射回來(lái),再受到蒸氣流碰撞而重新沿蒸氣流方向流向泵壁。經(jīng)過(guò)幾次碰撞后,氣體分子被壓縮到低真空端,再由下幾級(jí)噴嘴噴出的蒸氣進(jìn)行多級(jí)壓縮,最后由前級(jí)泵抽走,而油蒸氣在冷卻的泵壁上被冷凝后又返回到下層重新被加熱,如此循環(huán)工作達(dá)到抽氣目的。
高真空泵擴(kuò)散泵主要結(jié)構(gòu)有泵體、冷卻帽、噴嘴、蒸氣導(dǎo)流管、加熱器和冷卻器等。
二、需要關(guān)心的幾個(gè)問(wèn)題:
1.極限真空:油擴(kuò)散泵工作壓力范圍是10-1~10-6Pa,起始?jí)毫φ檬菣C(jī)械泵的極限壓力,因此,油擴(kuò)散泵通常要利用機(jī)械泵作為前級(jí)泵,將真空度抽到10-1Pa后才能開(kāi)始工作。
2.最大反壓強(qiáng):最大反壓強(qiáng)是指擴(kuò)散泵所允許的前置壓強(qiáng)最大值。如果前級(jí)泵所產(chǎn)生的壓強(qiáng)高于最大反壓強(qiáng),則擴(kuò)散泵就不能正常工作。
3.抽氣速率:擴(kuò)散泵的抽速可根據(jù)其他分子運(yùn)動(dòng)理論來(lái)推算出來(lái)。
4.設(shè)置冷阱和低溫?fù)醢宓脑颍河捎跀U(kuò)散泵噴嘴噴出來(lái)的油蒸氣分子,大部分由泵壁冷凝,這是因?yàn)楸帽谕庠O(shè)置冷卻水套或冷卻管道的緣故。但是有少部分蒸氣分子被泵壁反射,散射會(huì)返回被抽空間,這種現(xiàn)象在低溫實(shí)驗(yàn)室中要特別注意。如在擴(kuò)散泵和被抽容器之前加上冷阱或低溫?fù)醢澹@樣就能使返加的蒸氣被冷凝下來(lái),截止了油蒸氣的返流。
三、影響油擴(kuò)散泵性能的因素如下
1、油擴(kuò)散泵的返流。
2、氣體分子的反擴(kuò)散。
3、擴(kuò)散泵油的裂化分解,一般擴(kuò)散泵對(duì)其工作油的要求是飽和蒸氣壓以內(nèi)(室溫下0.00000001Pa左右),受熱穩(wěn)定性好,不易被氧化,分子量大的高沸點(diǎn)的液體,如硅油是擴(kuò)散泵中比較理想的工作油。
4、泵清洗不干凈,污染物質(zhì)留在泵內(nèi)并重復(fù)循環(huán),影響其真空度。
四、凱恩公司產(chǎn)品特點(diǎn)和用途
我公司生產(chǎn)的K、KT型系列金屬油擴(kuò)散泵,可用來(lái)獲得較高真空(10-2~10-5Pa)的主要設(shè)備,抽空能力達(dá),抽速在幾百升每秒~十幾萬(wàn)升每秒的范圍內(nèi)可供選擇。
用途:它被廣泛應(yīng)用在真空爐,真空鍍膜、電子化工、航天、冶金、原子能等高科技領(lǐng)域。
五、技術(shù)參數(shù)
KT系列技術(shù)參數(shù)
K系列技術(shù)參數(shù)
六,外形圖和鏈接尺寸