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羅茨真空泵
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羅茨泵是一種無(wú)內(nèi)壓縮的真空泵,靠泵腔內(nèi)-對(duì)“8”字形轉(zhuǎn)子同步、反向旋轉(zhuǎn)的推壓作用來(lái)移動(dòng)氣體而實(shí)現(xiàn)抽氣的真空泵。通常抽氣速率較大,配置電機(jī)功率較小,故需要前級(jí)泵預(yù)抽,到前級(jí)泵抽到規(guī)定真空度后,啟動(dòng)羅茨真空泵,來(lái)提高抽速和真空度。它的結(jié)構(gòu)和工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似,工作時(shí)其吸口與被抽真空容器或真空系統(tǒng)主泵相接。羅茨真空泵的轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間,轉(zhuǎn)子與泵殼之間互不接觸。
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